[发明专利]一种TFT探测基板及其制作方法、X射线探测器

摘要

本发明提供了一种TFT探测基板及其制作方法、X射线探测器，涉及光电技术领域，为能够对生物和环境进行有效保护，且有效降低成本而发明。所述TFT探测基板包括：基板，所述基板上设有栅线层，所述栅线层中包括栅线和与所述栅线连接的TFT栅极，所述栅线层的上方设有数据线层，所述数据线层中包括数据线，TFT源极和TFT漏极，所述TFT漏极与所述数据线相连接，所述栅线和所述数据线之间限定有像素区域，所述像素区域内设有光电二极管，所述TFT源极与光电二极管相连接，所述栅线层由依次沉积的铝钕金属层和钼金属层所形成；所述数据线层由钼金属层所形成。本发明可用于X射线探测器中。

主权项

一种TFT探测基板，包括：基板，所述基板上设有栅线层，所述栅线层中包括栅线和与所述栅线连接的TFT栅极，所述栅线层的上方设有数据线层，所述数据线层中包括数据线，TFT源极和TFT漏极，所述TFT漏极与所述数据线相连接，所述栅线和所述数据线之间限定有像素区域，所述像素区域内设有光电二极管，所述TFT漏极与光电二极管相连接，其特征在于，所述栅线层由依次沉积的铝钕金属层和钼金属层所形成；所述数据线层由钼金属层所形成。