[发明专利]一种用于光刻机镜头装调的可调式真空吸盘装置

摘要

一种用于光刻机镜头装调的可调式真空吸盘装置，涉及深紫外光刻机投影物镜镜头制造与装调技术领域。解决了光刻投影物镜加工装配过程中对不同尺寸镜片、镜筒以及镜框进行可靠吸取、搬运的问题。本装置包括适配接头、上盖、外壳、蜗轮、蜗杆、调节手柄、拨销、连杆、橡胶吸嘴。通过蜗轮蜗杆的啮合传动带动三个周向均布的拨销转动，拨销拨动连杆使得中心对称的三个吸嘴从中心向外围同步移动。本发明所述的吸盘装置结构简单、吸取范围可无级调整，调整范围大，可自锁，并且橡胶吸嘴对被吸工件表面无损伤；本发明不仅可用于光学镜片还适用于镜框等带有环形端面的零件的吸持。结构简单、无损夹持、连续可调、并可同时吸取镜片和镜框的真空吸盘装置。

主权项

一种用于光刻机镜头装调的可调式真空吸盘装置，该装置包括适配接头(1)、上盖(2)、外壳(3)、蜗轮(4)、蜗杆(5)、调节手柄(6)、拨销(7)、定位环(8)、销轴(9)、连杆(10)、吸嘴接头(11)、橡胶吸嘴(12)和真空吸管(13)，其特征是：所述适配接头(1)与上盖(2)紧固连接，外壳(3)固定在上盖(2)上；所述上盖(2)底部是带有外螺纹的中空轴(2‑2)；所述定位环(8)的内螺纹与中空轴(2‑2)的外螺纹配合；所述定位环(8)将蜗轮(4)轴向定位在中空轴(2‑2)上，所述外壳(3)上设置定位机构支撑蜗杆(5)和调节手柄(6)，所述蜗杆(5)固定在外壳(3)的定位机构上并与蜗轮(4)相啮合；所述蜗轮(4)上设置有定位孔，所述定位孔与拨销(7)配合；所述销轴(9)固定在外壳(3)的下端，所述连杆(10)的一端与销轴(9)连接，连杆(10)的另一端与吸嘴接头(11)固定；所述吸嘴接头(11)与橡胶吸嘴(12)和真空吸管(13)连接。