[发明专利]用于清洗晶片的摇摆清洗装置无效
| 申请号： | 201010614359.X | 申请日： | 2010-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN102059230A | 公开（公告）日： | 2011-05-18 |
| 发明（设计）人： | 任先林;陈俊 | 申请（专利权）人： | 常州松晶电子有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/10 | 分类号： | B08B3/10 |
| 代理公司： | 常州市维益专利事务所 32211 | 代理人： | 何学成 |
| 地址： | 213034 江苏省常*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及机械设备技术领域，具体涉及一种在晶片加工完成后，对晶片进行清洗的摇摆清洗装置，包括供水流通过的清洗槽，清洗槽的一端上方设有送水机构、另一端底部设有与清洗槽相连通的出水管，所述清洗槽上方至少设有一个摇摆装置，摇摆装置包括设有多个清洗篮的旋转平台，驱动旋转平台旋转的驱动装置以及将驱动装置的动力传递给旋转平台的传动机构。本发明利用机械连杆装置来模拟人手清洗的摇摆动作，将置于流动热纯水中的晶片，经过逆流向上的多次清洗，保证晶片充分清洗至工艺要求的清洗质量，同时相对于人工清洗的方式提高了工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 清洗 晶片 摇摆 装置 | ||
【主权项】：
用于清洗晶片的摇摆清洗装置，包括供水流通过的清洗槽，清洗槽的一端上方设有送水机构、另一端底部设有与清洗槽相连通的出水管，其特征在于：所述清洗槽上方至少设有一个摇摆装置，摇摆装置包括设有多个清洗篮的旋转平台，驱动旋转平台旋转的驱动装置以及将驱动装置的动力传递给旋转平台的传动机构。
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