[发明专利]导轮轮廓检测方法和系统

摘要

本发明实施例公开了一种导轮轮廓检测方法和系统，该方法包括：采用工业相机对导轮表面进行拍照，获得导轮轮廓图像；根据所述导轮轮廓图像，计算得出导轮V形槽的各项特征数据，所述V形槽的各项特征数据包括槽夹角、槽高和槽间距。本发明实施例通过视觉检测方式来检测导轮轮廓，用高分辨率工业相机对导轮表面进行拍照，可以准确的得出导轮表面V形槽的实际情况，并且根据拍照得出的导轮轮廓图像可以计算得出V形槽的各项特征数据，进而能够更准确的判断V形槽的具体损耗情况，使得能够及时对导轮进行相应的处理，避免影响硅片切割的精度和生产进度，也就避免了额外的损失。

主权项

一种导轮轮廓检测方法，其特征在于，包括：采用工业相机对导轮表面进行拍照，获得导轮轮廓图像；根据所述导轮轮廓图像，计算得出导轮V形槽的各项特征数据，所述V形槽的各项特征数据包括槽夹角、槽高和槽间距；其中，计算得出导轮V形槽的各项特征数据的过程具体包括：根据导轮轮廓图像，确定坐标系；根据所述坐标系，确定所述导轮轮廓图像中各点的位置坐标；计算得出所述导轮V形槽的槽夹角、槽高和槽间距；其中，计算所述槽夹角的过程具体为：确定波峰的坐标，以预设直径的圆分别向该波峰两侧的V形槽做切线，该圆同时与V形槽的两侧边相切，在该波峰的两侧边分别得到一个切点；在波峰的两侧边，分别以切点为第一点，以距离波峰1/3处的点为第二点进行连线，得到沿波峰两侧边方向的两条直线；计算波峰两侧的两条直线的夹角，得到波峰夹角；在波谷的两侧边，分别以切点为第一点，以距离波谷1/3处的点为第二点进行连线，得到沿波谷两侧边方向的两条直线；计算波谷两侧的两条直线的夹角，得到波谷夹角。