[发明专利]掩模版的固定装置及其固定方法有效
| 申请号： | 201010618390.0 | 申请日： | 2010-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN102566336A | 公开（公告）日： | 2012-07-11 |
| 发明（设计）人： | 黎刚生;齐芊枫;顾鲜红 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F9/00 | 分类号： | G03F9/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提出一种掩模版的固定装置，掩膜版包括多个第一导磁部。固定装置包括承载部和多个吸附模块。承载部承载掩膜版。多个吸附模块固定于承载部，每个吸附模块于第一导磁部的位置一一对应。每个吸附模块包括电磁铁，当电磁铁通电时，产生磁场将第一导磁部吸附在承载部上。电磁铁可以被第一磁铁和第二磁铁替代，第一磁铁或第二磁铁可改变磁极方向，当第一磁铁和第二磁铁磁极方向相同时，产生磁场将第一导磁部吸附在承载部上。本发明提出一种掩膜版的固定装置，通过磁力吸附的方式将掩膜版固定在固定装置上，制作简单，使用可靠，控制方便。 | ||
| 搜索关键词： | 模版 固定 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
一种掩模版的固定装置，所述掩膜版包括至少3个第一导磁部，其特征是，包括：承载部，承载所述掩膜版；以及至少3个吸附模块，固定于所述承载部，每个所述吸附模块与所述第一导磁部的位置一一对应，每个所述吸附模块包括：电磁铁，当所述电磁铁通电时，产生磁场将所述第一导磁部吸附在所述承载部上。
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