[发明专利]一种金属有机物化学气相沉积设备的载盘支撑

摘要

本发明涉及金属有机物化学气相沉积(MOCVD)设备中的一种载盘支撑装置。它包括腔体底盘(1)、腔壁(2)、多层载盘支撑(3)、支撑垫块(4)、支撑连接(5)、载盘(6)、加热器(7)，特征是多层载盘支撑(3)安装在腔体底盘(1)上，通过放置在多层载盘支撑(3)上部的支撑垫块(4)保证整个支撑面的平面度。多层载盘支撑(3)的每层均支撑受力，降低了对每层支撑的强度(厚度)的要求。工作过程中，腔体内部从常温到1000℃不断来回变化的过程中，厚度较薄的载盘支撑产生的形变也较小，也保证了工作的稳定性和安全性。而多层载盘支撑(3)也起到了隔热作用，使其内侧加热器的热量不容易辐射到腔壁(2)上。

主权项

一种金属有机物化学气相沉积设备的载盘支撑，它包括腔体底盘(1)、腔壁(2)、多层载盘支撑(3)、支撑垫块(4)、载盘连接(5)、载盘(6)、加热器(7)。