[发明专利]光刻胶组合物

摘要

本发明提供了一种光刻胶组合物，其包含：包含式(I)表示的结构单元的树脂和式(D’)表示的化合物：其中Q¹和Q²独立地表示氟原子等，U表示C1-C20二价烃基等，X¹表示-O-CO-等，A⁺表示有机反荷离子，其中R⁵¹、R⁵²、R⁵³和R⁵⁴独立地表示C1-C20烷基等，A¹¹表示可具有一个或更多个取代基并可含有一个或更多个杂原子的C1-C36饱和环状烃基。

主权项

1.一种光刻胶组合物，包含：包含式(I)表示的结构单元的树脂和式(D’)表示的化合物：其中Q¹和Q²独立地表示氟原子或C1-C6全氟烷基；U表示C1-C20二价烃基，其中一个或更多个-CH₂-可被-O-、-NH-、-S-、-NR^c-、-CO-或-CO-O-替代，R^c表示C1-C6烷基；X¹表示-O-CO-、-CO-O-、-CO-O-CH₂-、-CH₂-O-CO-、-O-CH₂-、-CH₂-O-、-NR^d-CO-或-CO-NR^d-，R^d表示氢原子或C1-C6烷基；A⁺表示有机反荷离子，其中R⁵¹、R⁵²、R⁵³和R⁵⁴独立地表示可具有一个或更多个取代基的C1-C20烷基、可具有一个或更多个取代基的C3-C30饱和环状烃基或可具有一个或更多个取代基的C2-C20烯基，A¹¹表示可具有一个或更多个取代基并可含有一个或更多个杂原子的C1-C36饱和环状烃基。