[发明专利]掺杂二氧化钛的石英玻璃及其制备方法有效
| 申请号： | 201010625211.6 | 申请日： | 2010-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN102180595A | 公开（公告）日： | 2011-09-14 |
| 发明（设计）人： | 毎田繁;大塚久利;上田哲司;江崎正信 | 申请（专利权）人： | 信越化学工业株式会社 |
| 主分类号： | C03C3/06 | 分类号： | C03C3/06;C03C3/076;G03F7/20 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 李帆 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及掺杂二氧化钛的石英玻璃及其制备方法。更具体地涉及一种掺杂二氧化钛的石英玻璃，该玻璃在900℃热处理100小时后经历小于或等于100ppm的OH基团浓度的降低，所述玻璃适合作为EUV光刻部件。 | ||
| 搜索关键词： | 掺杂 氧化 石英玻璃 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种掺杂二氧化钛的石英玻璃，其在900℃热处理100小时后经历小于或等于100ppm的OH基团浓度的降低。
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