[实用新型]半导体元件的除尘装置无效
| 申请号： | 201020000420.7 | 申请日： | 2010-01-13 |
| 公开（公告）号： | CN201632453U | 公开（公告）日： | 2010-11-17 |
| 发明（设计）人： | 薛伯承;朱文庆 | 申请（专利权）人： | 薛伯承;朱文庆 |
| 主分类号： | B08B5/02 | 分类号： | B08B5/02;B08B13/00 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 | 代理人： | 寿宁;张华辉 |
| 地址： | 中国台湾高*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本实用新型是有关于一种半导体元件的除尘装置，包含一导引单元、一限位单元，及一除尘单元。该限位单元包括一个用以将所述半导体元件限位于一托盘内的遮罩网件。该除尘单元设置于该导引单元上，并可以透过该遮罩网件对所述半导体元件吹送除尘气流以进行清洁。借由该遮罩网件可使所述半导体元件稳固地置于该托盘内，并避免所述半导体元件被除尘气流吹落。该除尘单元包括一整流室，该整流室可将输入的气流整流成稳定的除尘气流并避免污染尘在清洁的过程中飞扬而造成二次污染。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体 元件 除尘 装置 | ||
【主权项】：
一种半导体元件的除尘装置，其特征在于，包含：一个导引单元；一个限位单元，设置于该导引单元上，该限位单元包括一个用以对所述半导体元件提供限位作用的遮罩网件，及多数个间隔设置于该导引单元上并与该遮罩网件相连接且能带动该遮罩网件升降位移的升降驱动件；及一个除尘单元，包括一个设于该导引单元的除尘本体，及一个设于该除尘本体内的送风管，该送风管具有一个形成于该除尘本体上且供一外界气体输入的入风孔、一个形成于该除尘本体上且朝向该遮罩网件的出风孔，借此所述外界气体输入该入风孔并经该送风管而由该出风孔朝向该遮罩网件输出，以对所述半导体元件进行吹风清洁作用。
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