[实用新型]硅片夹紧装置有效
申请号: | 201020115613.7 | 申请日: | 2010-02-21 |
公开(公告)号: | CN201613496U | 公开(公告)日: | 2010-10-27 |
发明(设计)人: | 莫心龙;徐勇兵;喻飞建 | 申请(专利权)人: | 晶科能源有限公司 |
主分类号: | B24B9/06 | 分类号: | B24B9/06 |
代理公司: | 江西省专利事务所 36100 | 代理人: | 杨志宇 |
地址: | 334100 江西*** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种硅片夹紧装置,特别是一种硅片夹紧的磨边装置。本实用新型的一种硅片夹紧装置,包括远端固定板、活动推板、滑杆、动力源、底板、背面板、薄膜垫片、近端固定板;其中:将软质垫片先固定在远、近固定板的内侧,可防止硅片因挤压碰撞而损伤,同时可将数百片硅片置于夹紧空间内并进行打磨。本实用新型的优点在于:在磨边过程中,将整个夹紧装置连带压紧后的硅片固定安装在磨边机上,将硅片待磨边的一面对齐磨边部件,则可将硅片打磨光滑或毛边。该硅片夹紧装置的综合优点在于:该硅片夹紧装置的使用寿命长、操作方便、也可避免误操作对人体的伤害。 | ||
搜索关键词: | 硅片 夹紧 装置 | ||
【主权项】:
一种硅片夹紧装置,包括远端固定板(1)、活动推板(2)、滑杆(3)、动力源(4)、底板(5)、近端固定板(8);其特征在于:滑杆(3)穿透近端固定板(8)上的通孔;动力源(4)与活动推板(2)通过滑杆(3)活动地连接在一起。
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