[实用新型]管靶材组件有效
申请号: | 201020118658.X | 申请日: | 2010-02-09 |
公开(公告)号: | CN201722424U | 公开(公告)日: | 2011-01-26 |
发明(设计)人: | 姚力军;潘杰;王学泽;汪涛;刘庆 | 申请(专利权)人: | 宁波江丰电子材料有限公司 |
主分类号: | C23C14/34 | 分类号: | C23C14/34 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 李丽 |
地址: | 315400 浙江省余*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本实用新型提供一种管靶材组件,其包括:两端具有螺纹的铝或铝合金管靶材;带螺纹的连接接头,与所述铝或铝合金管靶材通过螺纹进行连接。此外,所述管靶材组件还包括密封圈;所述密封圈材质可以为耐高温的橡胶或树脂,且所述密封圈可以具有金属骨架。另外,所述连接接头材料选自铝基合金或铁基合金。本实用新型通过螺纹连接构成管靶材组件,可以循环再利用所述连接接头,降低成本,节约资源,解决了以往连接接头无法循环利用造成资源浪费的问题。而且,本实用新型操作简单,并能使所述管靶材与所述连接接头牢固地连接在一起。 | ||
搜索关键词: | 管靶材 组件 | ||
【主权项】:
一种管靶材组件,其特征在于,包括:铝或铝合金管靶材,两端具有螺纹;带螺纹的连接接头,与所述铝或铝合金管靶材通过螺纹进行连接。
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