[实用新型]具有应力隔离的MEMS惯性传感器封装结构

摘要

本实用新型公开了一种具有应力隔离的MEMS惯性传感器封装结构，包括封装管壳、盖板、MEMS惯性传感器和粘接剂，将MEMS惯性传感器通过粘接剂安装在应力隔离层上，该应力隔离层通过粘接剂安装封装管壳上。本实用新型应力隔离层的材料与MEMS惯性传感器的衬底材料相同，可以大大减小封装应力以及工作环境温度变化产生的热应力对MEMS惯性传感器的影响；应力隔离层可减小外界机械应力对MEMS惯性传感器的影响；封装管壳材料不受限制，可以是氧化铝或金属；应力隔离层采用微电子工艺加工，可实现批量生产，结构简单，加工工艺步骤少，成本低。

主权项

一种具有应力隔离的MEMS惯性传感器封装结构，包括封装管壳(1)、盖板(2)、MEMS惯性传感器(3)和粘接剂(4)，其特征在于将MEMS惯性传感器(3)通过粘接剂(4)安装在应力隔离层(5)上，该应力隔离层(5)通过粘接剂(4)安装封装管壳(1)上。