[实用新型]蒸镀腔体机构及具有该蒸镀腔体机构的蒸镀装置

摘要

本实用新型公开了一种蒸镀腔体机构及具有该蒸镀腔体机构的蒸镀装置,一种蒸镀腔体机构，包括底板、顶板以及设于底板与顶板之间的若干侧板，底板、顶板以及若干侧板互相密封连接形成中空的蒸镀腔，侧板开有基板传送口以及维修口，至少一侧板为呈弯折结构的弯折侧板，弯折侧板包括与顶板密封连接的上侧板，沿上侧板向蒸镀腔内斜向延伸形成中侧板，沿中侧板向下延伸形成下侧板，下侧板与所述底板密封连接，蒸镀腔体机构包括分别与上侧板、中侧板以及下侧板相对应的且体积依次减少的上腔体、中腔体以及下腔体，基板传送口位于所述上腔体上，维修口自中腔体开设至下腔体。本实用新型蒸镀腔体机构强度高，成本低并且轻便；另，本实用新型还提供了一种具有该蒸镀腔体机构的蒸镀装置。

主权项

一种蒸镀腔体机构，包括底板、顶板以及设于所述底板与所述顶板之间的若干侧板，所述底板、顶板以及若干侧板互相密封连接形成中空的蒸镀腔，所述侧板开有基板传送口以及维修口，其特征在于：至少一所述侧板为呈弯折结构的弯折侧板，所述弯折侧板包括与所述顶板密封连接的上侧板，沿所述上侧板向所述蒸镀腔内斜向延伸形成中侧板，沿所述中侧板向下延伸形成下侧板，所述下侧板与所述底板密封连接，所述蒸镀腔体机构包括分别与上侧板、中侧板以及下侧板相对应的且体积依次减少的上腔体、中腔体以及下腔体，所述基板传送口位于所述上腔体上，所述维修口自中腔体开设至下腔体。