[实用新型]连续真空镀膜装置无效
| 申请号： | 201020143845.3 | 申请日： | 2010-03-24 |
| 公开（公告）号： | CN201648512U | 公开（公告）日： | 2010-11-24 |
| 发明（设计）人： | 汪友林 | 申请（专利权）人： | 深圳森丰真空镀膜有限公司;森科五金(深圳)有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56 |
| 代理公司： | 深圳市中知专利商标代理有限公司 44101 | 代理人： | 宋湘红 |
| 地址： | 518101 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型为一种连续真空镀膜装置，包括顺序相连的入片室、加热室、清洗室、镀膜室、过渡室、冷却室、出片室，相邻的两室之间通过真空锁相连，在每个室的室壁上安装有分子泵，还设有用于承载和传输工件的传输机构。本实用新型中的多个室及镀膜室是独立并通过真空锁相连的，可以根据工件货品的需要灵活设置镀膜室的个数及不同靶材和不同镀膜方式的镀膜室，从而可以采用最佳方式进行镀膜。本实用新型结构设计合理，生产功效高，能够实现工件上一层、二层或多层复合膜的连续制备并实现膜厚的实时监控，尤其对于两面均需镀膜的工件，镀膜效率更是得到大幅度提高。 | ||
| 搜索关键词： | 连续 真空镀膜 装置 | ||
【主权项】：
一种连续真空镀膜装置，其特征在于：包括顺序相连的入片室、加热室、清洗室、镀膜室、过渡室、冷却室、出片室，相邻的两室之间通过真空锁相连，在每个室的室壁上安装有分子泵；还设有用于承载和传输工件的传输机构。
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