[实用新型]掩膜传输装置

摘要

本实用新型提供了一种掩膜传输装置，包括腔体、传输机构、承载篮子、升降机构、控制机构及抽真空机构。腔体开设有工作腔、第一输送口和第二输送口。传输机构的传输件收容于工作腔内，且其后端与第二输送口对接。承载篮子包括呈中空结构的承载框体，承载框体内设置有至少两个呈等间距并平行分布的支撑组，相邻支撑组之间形成呈水平的存储槽，且承载框体的后端开设有传输口。升降机构驱动承载篮子沿竖直方向移动并使传输口形成传输对接区，传输对接区与传输件对接。控制机构控制升降机构驱动承载篮子的存储槽逐一与传输件的前端对接。抽真空机构为腔体的工作腔提供真空环境。本实用新型掩膜传输装置能提高掩膜传输和存储的连贯性以提高生产效率。

主权项

一种掩膜传输装置，适用于对半导体生产线上的掩膜进行传输，其特征在于，所述掩膜传输装置包括：腔体，所述腔体呈中空结构，所述中空结构形成密封的工作腔，所述腔体的前端开设有第一输送口，所述腔体的后端开设有第二输送口；传输机构，所述传输机构包括传输件及传输驱动器，所述传输件沿水平方向设置于所述工作腔内并与所述传输驱动器连接，所述传输件的后端与所述腔体的第二输送口对接；承载篮子，所述承载篮子包括呈中空结构的承载框体，所述承载框体内相对的两侧壁上分别设置有至少两个支撑组，所述支撑组呈等间距的平行分布，所述支撑组由沿同一水平面设置的若干支撑件组成，相邻的支撑组之间形成呈水平的存储槽，每个掩膜插放于一个存储槽内，所述承载框体的后端开设有传输口；升降机构，所述升降机构包括升降驱动器及升降承载架，所述升降驱动器安装于所述腔体外，所述升降驱动器的输出轴呈密封地穿入所述工作腔内并与所述升降承载架连接，所述承载篮子承载于所述升降承载架上，所述升降驱动器驱动所述承载篮子在所述工作腔内做竖直方向的往返运动，所述承载篮子的往返运动使所述传输口在所述腔体内形成传输对接区，所述传输件的前端与所述传输对接区对接，所述承载篮子的前端朝向所述第一输送口；控制机构，所述控制机构包括控制处理器及第一传感器，所述第一传感器安装于所述腔体上且正对所述传输件的前端，所述第一传感器与所述控制处理器电连接，所述控制处理器与所述升降驱动器电连接，所述第一传感器检测到所述传输件的前端具有掩膜并发送信号给所述控制处理器，所述控制处理器控制所述升降驱动器驱动所述承载篮子的存储槽逐一与所述传输件的前端对接；以及抽真空机构，所述抽真空机构与所述腔体连接并为所述工作腔提供真空环境。