[实用新型]直立筒式多靶磁控溅射镀膜机

摘要

本实用新型公开了一种直立筒式多靶磁控溅射镀膜机，包括圆筒状镀膜室、上盖，镀膜基体件装载组件，镀膜基体件公转装置和自转装置，第一金属靶，第二金属靶，第一中频孪生靶，第二中频孪生靶，抽真空装置，供电调控器和进排气调控器，以其第一金属靶和第二金属与上盖转动连接，且由第一电机驱动旋转，所述镀膜基体件公转装置，包括镀膜基体件装载架、转轴、第二电机，第二主动传动件和第二被动传动件，且由第二电机驱动镀膜基体件公转和自转为主要特征，具有结构合理，操作方便，生产效率高，镀膜质量好等特点，特别适用于槽式太阳能热电装备用集热管内管的镀膜。

主权项

1.一种直立筒式多靶磁控溅射镀膜机，包括圆筒状镀膜室(1)，镀膜室上盖(2)，镀膜基体件装载组件(3)，镀膜基体件公转驱动装置(4)，镀膜基体件自转驱动装置(5)，设置在镀膜室(1)内且位于镀膜室(1)中央部位的能够旋转的第一金属靶(6)和第二金属靶(7)，设置在镀膜基体件(J)公转轨迹外围的第一中频孪生靶(8)和第二中频孪生靶9)，抽真空装置(10)，供电调控器(11)以及进排气调控器(12)，其特征在于，a、所述镀膜室上盖(2)，在工作状态下与镀膜室(1)顶端密封配装；所述第一金属靶(6)和第二金属靶(7)分别与镀膜室上盖(2)转动连接；在第一金属靶(6)和第二金属靶(7)的顶端，分别设有第一被动传动件(13、14)，固装在镀膜室上盖(2)上的第一电机(15)，通过设在其输出轴上的主动传动件(16)，与第一被动传动件(13、14)传动连接；与所述镀膜室(1)内腔连接贯通的进排气管，分别设置在镀膜室上盖(2)上；b、所述镀膜基体件公转驱动装置(4)，包括设在所述镀膜室(1)内的镀膜基体件装载架(22)，转轴(23)，第二电机(24)，第二主动传动件(25)，和第二被动传动件(26)；所述镀膜基体件装载架(22)，由上圈(22-1)、下圈(22-2)，和若干根一端与上圈(22-1)底面连接，另一端与下圈(22-2)顶面连接的支撑杆(22-3)组成；所述上圈(22-1)设有若干通孔(22-1-1)，所述下圈(22-2)设有与上圈(22-1)所设通孔(22-1-1)等量且相应对的底孔(22-2-1)；所述通孔(22-1-1)和底孔(22-2-1)，分别与镀模基体件(J)转动配装，所述转轴(23)与下圈(22-2)固定连接；与转轴(23)固定连接的第二被动传动件(25-1)，与固装在第二电机(24)输出轴上的第二主动传动件(25-2)传动连接；所述下圈(22-2)的底面承支在镀膜室(1)的内底平面上，且两者呈面面接触动配合。