[实用新型]用于化学气相淀积反应室的紧固组件

摘要

本实用新型属于半导体制造领域。公开了一种用于化学气相淀积反应室的紧固组件，包括若干用于连接反应室周壁和气源箱底板的螺栓，所述螺栓和气源箱底板之间设有一隔离板，所述隔离板上设置有圆周刻度，所述螺栓设有与所述圆周刻度相对应的指针。利用指针转动的圈数和所指刻度来确定每个螺栓的松紧程度，实现每次保养前后气源箱底板与反应室周壁的连接位置保持不变。同时，操作员可直观地通过指针读数来判断螺栓的松动情况并及时调整到预设位置。因而，避免了由于各个螺栓松紧度不同而引起气源箱底板的倾斜及升降，从而防止气源箱底板下方的喷头出现倾斜及升降，有利于提高各个晶片化学气相淀积工艺的稳定性，进而提高产品合格率。

主权项

一种用于化学气相淀积反应室的紧固组件，包括若干用于连接反应室周壁和气源箱底板的螺栓，所述螺栓和气源箱底板之间设有一隔离板，其特征在于：所述隔离板上设置有圆周刻度，所述螺栓设有与所述圆周刻度相对应的指针。