[实用新型]双层膜厚均匀性修正板驱动装置

摘要

一种双层膜厚均匀性修正板驱动装置，涉及真空镀膜技术领域，所解决的是控制两种材料的膜厚均匀性的技术问题。该装置包括安装法兰、两块修正板和两组驱动单元，每组驱动单元包括安装底座、驱动气缸、导轨、轴承座、关节轴承、连接杆、旋转臂和修正板安装杆；所述安装底座、驱动气缸和导轨均固定在安装法兰上，所述轴承座固定在安装底座上；所述关节轴承固定在驱动气缸的动力臂上；所述连接杆的两端分别与关节轴承、旋转臂枢接，所述旋转臂与轴承座枢接；所述修正板安装杆固定在旋转臂上，所述两块修正板分别固定在两组驱动单元的修正板安装杆上；所述关节轴承上装有导轮。本实用新型提供的装置，能有效控制两种材料的膜厚均匀分布。

主权项

一种双层膜厚均匀性修正板驱动装置，包括安装法兰、修正板和驱动单元，其特征在于：所述驱动单元有两组，分别安装在安装法兰的上部和下部；每组驱动单元包括安装底座、驱动气缸、导轨、轴承座、关节轴承、连接杆、旋转臂和修正板安装杆；所述安装底座、驱动气缸和导轨均固定在安装法兰上，所述轴承座固定在安装底座上，而且驱动气缸的动力臂、导轨及轴承座均位于安装法兰的内侧，驱动气缸的外壳与安装法兰密封接合，所述导轨的轴线平行于驱动气缸的动力臂；所述关节轴承固定在驱动气缸的动力臂上；所述连接杆的一端与关节轴承枢接，其枢转轴线为第一枢转轴线，另一端与旋转臂枢接，其枢转轴线为第二枢转轴线，所述旋转臂与轴承座枢接，其枢转轴线为第三枢转轴线；所述第一、第二、第三枢转轴线相互平行，且垂直于驱动气缸的动力臂；所述修正板安装杆经一角度调整块固定在旋转臂上，所述修正板有两块，分别固定在两组驱动单元的修正板安装杆上；所述关节轴承上装有导轮，所述导轮的轴线平行于第一轴线，其轮面与导轨的轨面相切。