[实用新型]18对棒多晶硅还原炉有效
| 申请号： | 201020215626.1 | 申请日： | 2010-06-04 |
| 公开（公告）号： | CN201713325U | 公开（公告）日： | 2011-01-19 |
| 发明（设计）人： | 王姗 | 申请（专利权）人： | 成都蜀菱科技发展有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/021 | 分类号： | C01B33/021 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 610015 四川省*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本18对棒多晶硅还原炉在还原炉内壁有光滑的银层，底盘上配有18对电极、在底盘上均匀设置多个进气喷嘴，利用银的化学特性和良好的加工性，以及抛光后的镜面效果，使多晶硅还原炉中反应时的供料气体分布更均匀，反应更充分，此举不仅提高了产品纯度，也达到了大幅度节能降耗的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 18 多晶 还原 | ||
【主权项】：
18对棒多晶硅还原炉，包括底盘和炉体，在炉体和底盘上设有冷却水腔和用于冷却水进出的进出口，底盘上配有电极、进气口和排气口，底盘与炉体采用紧固件连接，炉体上设有用于观察和测量温度的视孔，其特征在于还原炉内壁有一层厚度为2 3mm的光滑的银层，底盘上有18对用于生成硅棒的电极。
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