[实用新型]一种避免PVD腔室中射频和热辐射泄漏的保护罩有效
| 申请号： | 201020216107.7 | 申请日： | 2010-06-04 |
| 公开（公告）号： | CN201729875U | 公开（公告）日： | 2011-02-02 |
| 发明（设计）人： | 李广宁 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/52 | 分类号： | C23C14/52;C23C14/22 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 20120*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种避免PVD腔室中射频和热辐射泄漏的保护罩，通过将被卡持板卡持在第一卡持部和第二卡持部之间，且第一卡持部和第二卡持部连接成闭合状，从而保护罩和PVD腔室的观察窗口能够较好地匹配，进而较好地避免射频和热辐射的泄漏。此外，由于第一卡持部和第二卡持部的上侧壁中形成有多个开孔，在PVD腔室处于烘烤状态时能够对腔室情况进行监测，而且，由于第一卡持部与被卡持板活动连接，在需要较大的监测视角时可以卸下该第一卡持部。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 避免 pvd 腔室中 射频 热辐射 泄漏 护罩 | ||
【主权项】：
一种避免PVD腔室中射频和热辐射泄漏的保护罩，所述保护罩用于罩住所述PVD腔室的观察窗口，其特征在于，包括：第一卡持部，其包括第一上侧壁、第一下侧壁以及第一连接部，所述第一上侧壁中形成有多个开孔，所述第一上侧壁和所述第一下侧壁在交界处形成第一卡持线，所述第一连接部分别形成于所述第一上侧壁和所述第一下侧壁的两端；第二卡持部，其包括第二上侧壁、第二下侧壁以及第二连接部，所述第二上侧壁中形成有多个开孔，所述第二上侧壁和所述第二下侧壁在交界处形成第二卡持线，所述第二连接部分别形成于所述第二上侧壁和所述第二下侧壁的两端；被卡持板，其边缘卡持在所述第一卡持线和所述第二卡持线，其中，所述第一连接部和所述第二连接部配合使用以使得所述第一卡持部和所述第二卡持部连接成闭合状，所述第一卡持部与所述被卡持板活动连接。
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