[实用新型]一种硅片处理设备及其定位机构有效
申请号: | 201020231159.1 | 申请日: | 2010-06-18 |
公开(公告)号: | CN201804892U | 公开(公告)日: | 2011-04-20 |
发明(设计)人: | 吴晓松;陆杰;潘加永;何广春 | 申请(专利权)人: | 无锡尚德太阳能电力有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L21/68;H01L21/677 |
代理公司: | 北京金信立方知识产权代理有限公司 11225 | 代理人: | 黄威;孙丽梅 |
地址: | 214028 江苏省无锡*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型提供了一种定位机构,用于在太阳电池的制造过程中对传送机构所传送的硅片进行定位,传送机构包括顺次传送硅片的第一传送轨道和第二传送轨道,第一传送轨道与第二传送轨道垂直相接,定位机构包括:多个定位挡块,其可移动地设置在第一传送轨道的传送方向上;和至少一个气缸,其构造为在硅片到位之前控制定位挡块移动至定位位置,并在硅片由定位挡块定位后控制定位挡块移动到与硅片分离的分离位置。本实用新型还提供了一种制造太阳电池用的硅片处理设备,包括硅片传送机构及上述对传送机构所传送的硅片进行定位的定位机构。本实用新型解决了硅片变轨的定位问题,有效减少了碎片的产生,保证了生产的正常和持续。 | ||
搜索关键词: | 一种 硅片 处理 设备 及其 定位 机构 | ||
【主权项】:
一种定位机构,用于在太阳电池的制造过程中对传送机构所传送的硅片进行定位,所述传送机构包括顺次传送所述硅片的第一传送轨道和第二传送轨道,所述第一传送轨道与第二传送轨道垂直相接,其特征在于,所述定位机构包括:多个定位挡块,其可移动地设置在所述第一传送轨道的传送方向上,用于在所述第一传送轨道的传送方向上定位所述硅片;至少一个气缸,其构造为在所述硅片到位之前控制所述定位挡块移动至定位位置,并在所述硅片由所述定位挡块定位后控制所述定位挡块移动到与所述硅片分离的分离位置。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的