[实用新型]单晶炉、多晶炉循环水管道装置无效

专利信息
申请号: 201020231828.5 申请日: 2010-06-17
公开(公告)号: CN201713609U 公开(公告)日: 2011-01-19
发明(设计)人: 钱新江;朱景福 申请(专利权)人: 安徽日能中天半导体发展有限公司
主分类号: C30B35/00 分类号: C30B35/00;C30B29/06
代理公司: 安徽合肥华信知识产权代理有限公司 34112 代理人: 余成俊
地址: 237200*** 国省代码: 安徽;34
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 实用新型公开了一种单晶炉、多晶炉循环水管道装置,包括有连通至单晶炉或多晶炉的主管道,多个水泵,每个水泵的进水管道连通至单晶炉或多晶炉,出水管道分别从主管道上方与主管道连通。本实用新型结构简单,易于安装和日常维护,大大节约了水资源,解决了水压不够的问题,大大提高了单晶硅、多晶硅的生产效率。
搜索关键词: 单晶炉 多晶 循环 水管 装置
【主权项】:
单晶炉、多晶炉循环水管道装置,包括有笔直的连通至单晶炉或多晶炉的主管道,其特征在于:还包括多个水泵,每个水泵的进、出水口上分别对应安装有进、出水管道,所述进水管道分别连通至所述单晶炉或多晶炉,所述出水管道分别从主管道上方与主管道连通,多个出水管道彼此平行且均相对所述主管道倾斜相同的角度。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于安徽日能中天半导体发展有限公司,未经安徽日能中天半导体发展有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201020231828.5/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top