[实用新型]一种抑制软轴提拉型单晶炉软轴摆动的阻尼套支撑装置

摘要

本实用新型公开的一种抑制软轴提拉型单晶炉软轴摆动的阻尼器，包括内部为空腔的旋转空心轴，旋转空心轴内空腔的顶端设置有内部为空腔的上阻尼套，旋转空心轴内空腔的底端设置有内部为空腔的下阻尼套，上阻尼套和下阻尼套之间设置有包容在旋转空心轴空腔内的弹簧，轴向穿过上阻尼套内空腔、旋转空心轴内空腔和下阻尼套内空腔设置有软轴，软轴的顶端设置有钢球，软轴的底端设置有联结端子。本实用新型抑制软轴提拉型单晶炉软轴摆动的阻尼器，结构简单、装配及拆卸方便、软轴更换容易，且可使软轴与上、下阻尼套及下阻尼套与旋转空心轴之间产生碰撞而消耗摆动能量，起到阻尼器作用，使软轴—单晶系统的摆动量达到最小。

主权项

一种抑制软轴提拉型单晶炉软轴摆动的阻尼套支撑装置，其特征在于，包括副室（5），垂直于副室（5）径向穿过副室（5）平行设置有螺杆（10）及导杆（17），所述的螺杆（10）的一端通过联轴器（13）与伺服电机（14）相连接，垂直于螺杆（10）及导杆（17）设置有左支撑臂（6）及右支撑臂（9），左支撑臂（6）及右支撑臂（9）的螺纹套部分设置在螺杆（10）上，左支撑臂（6）及右支撑臂（9）的一端分别设置有半阻尼套（8），左支撑臂（6）及右支撑臂（9）的另一端滑套部分设置在导杆（17）上。