[实用新型]集成电路装片机涂胶模块有效
申请号: | 201020241044.0 | 申请日: | 2010-06-29 |
公开(公告)号: | CN201783437U | 公开(公告)日: | 2011-04-06 |
发明(设计)人: | 刘建峰;徐银森;李承峰;胡汉球;苏建国;吴华 | 申请(专利权)人: | 吴华 |
主分类号: | B05C5/02 | 分类号: | B05C5/02;B05C11/00;H01L21/56 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 226006 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型提供了一种集成电路装片机涂胶模块,包括运动控制单元、气动控制单元、涂胶头,运动控制单元保证在X轴、Y轴、Z轴三维空间的自由高速精密运动,气动控制单元采用含电气比例阀的器件精确控制涂胶量,涂胶头安装在X轴上;涂胶具有点胶和画胶两种模式。该集成电路装片机涂胶模块涂胶位置、涂胶形状和涂胶量任意数字控制,系统刚性高,自动化程度高,适合全自动集成电路装片机中涂胶使用。 | ||
搜索关键词: | 集成电路 装片机 涂胶 模块 | ||
【主权项】:
一种集成电路装片机涂胶模块,包含运动控制单元(1)、气动控制单元(3)、涂胶头(6),其特征在于:运动控制单元(1)连接三维空间数控器件(2),采用X轴、Y轴、Z轴三自由度的运动定位;气动控制单元(3)连接时间 气压控制器件(4),采用含有电气比例阀(5)的器件控制涂胶量;涂胶头(6)安装在X轴上,X轴与两根Y轴导轨形成龙门拱架结构(7)。
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