[实用新型]用于清洗晶圆盒底部的机器有效
| 申请号： | 201020246396.5 | 申请日： | 2010-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN201728197U | 公开（公告）日： | 2011-02-02 |
| 发明（设计）人： | 田华;桂鹏 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | B08B1/04 | 分类号： | B08B1/04 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 20120*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种清洗机器，尤其涉及一种用于清洗晶圆盒底部的机器。这种用于清洗晶圆盒底部的机器，包括主工作台，所述主工作台的顶部设有用于擦洗所述晶圆盒底部的清洗部件，所述主工作台内还设有用于驱动所述清洗部件的驱动部件，所述主工作台的内部对应清洗部件的下方设有排气装置。本实用新型，结构简单，使用方便，通过转动的清洗部件，可以将附着于晶圆盒底部内壁的塑料小颗粒擦拭下来，然后通过排气装置将晶圆盒底部的空间内的塑料小颗粒抽排出去，从而彻底将晶圆盒底部内的塑料小颗粒清除，防止这些塑料小颗粒进入晶圆盒污染晶圆致使晶圆良率降低。同时，也避免了机台由于要清洗相关部件而不得不停机所造成的损失。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 清洗 晶圆盒 底部 机器 | ||
【主权项】：
一种用于清洗晶圆盒底部的机器，其特征在于，包括主工作台，所述主工作台的顶部设有用于擦洗所述晶圆盒底部的清洗部件，所述主工作台内还设有用于驱动所述清洗部件的驱动部件，所述主工作台的内部对应清洗部件的下方设有排气装置。
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