[实用新型]晶片盒清洁装置有效
| 申请号： | 201020246443.6 | 申请日： | 2010-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN201728204U | 公开（公告）日： | 2011-02-02 |
| 发明（设计）人： | 许亮 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | B08B5/02 | 分类号： | B08B5/02 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 20120*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种晶片盒清洁装置，所述晶片盒清洁装置包括：工作台、进气管路、排气管路、气体供给装置以及排风装置，所述气体供给装置与所述进气管路连接，所述排风装置与所述排气管路连接，所述工作台包括一腔体，所述进气管路与所述腔体连通形成进气通道，所述排气管路与所述腔体连通形成排气通道。所述晶片盒清洁装置可有效清洁晶片盒，减小颗粒对晶片损坏的可能性，提高晶片的成品率，并可保证半导体加工装置的正常运作。 | ||
| 搜索关键词： | 晶片 清洁 装置 | ||
【主权项】：
一种晶片盒清洁装置，其特征在于，包括：工作台、进气管路、排气管路、气体供给装置以及排风装置，所述气体供给装置与所述进气管路连接，所述排风装置与所述排气管路连接，所述工作台包括一腔体，所述进气管路与所述腔体连通形成进气通道，所述排气管路与所述腔体连通形成排气通道。
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