[实用新型]玻璃基板的检测设备和干法刻蚀设备有效
| 申请号： | 201020246462.9 | 申请日： | 2010-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN201803915U | 公开（公告）日： | 2011-04-20 |
| 发明（设计）人： | 徐伟齐 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;合肥鑫晟光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N7/00 | 分类号： | G01N7/00;G02F1/1333;H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 刘芳 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种玻璃基板的检测设备和利用该玻璃基板的检测设备进行干法刻蚀的设备。该玻璃基板的检测设备，包括：具有多个检测气孔的载台，所述多个检测气孔位于所述载台上所述玻璃基板的覆盖区域；与所述多个检测气孔相连通的检测管路，所述检测管路用于向所述多个检测气孔通入气体；与所述检测管路相连接的检测元件，所述检测元件用于检测通入所述检测气孔的气体流量或压力以确定所述玻璃基板是否存在裂缝。本实用新型提供的方案解决了由于玻璃基板的裂纹造成的液晶显示器的质量问题，保证了液晶显示器的质量。 | ||
| 搜索关键词： | 玻璃 检测 设备 刻蚀 | ||
【主权项】：
一种玻璃基板的检测设备，其特征在于，包括：具有多个检测气孔的载台，所述多个检测气孔位于所述载台上所述玻璃基板的覆盖区域；与所述多个检测气孔相连通的检测管路，所述检测管路用于向所述多个检测气孔通入气体；与所述检测管路相连接的检测元件，所述检测元件用于检测通入所述检测气孔的气体流量或压力以确定所述玻璃基板是否存在裂缝。
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