[实用新型]一种离子注入机台离子源的校准装置有效
| 申请号： | 201020266004.1 | 申请日： | 2010-07-21 |
| 公开（公告）号： | CN201845737U | 公开（公告）日： | 2011-05-25 |
| 发明（设计）人： | 许鹖 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/304 | 分类号： | H01J37/304 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种离子注入机台离子源的校准装置，包括底座、位于该底座上并与底座一体成型的基板，该基板的表面具有相互平行的第一凹槽、第二凹槽、第三凹槽，并在该第一凹槽的反面安装第一齿轮、该第二凹槽的反面安装带有摇杆的第二齿轮以及第四齿轮、该第三凹槽的反面安装第三齿轮；第一齿轮、第二齿轮、第三齿轮安装在滚动带内，并且该第二齿轮位于第一齿轮与第三齿轮之间，该第四齿轮与第二齿轮衔接匹配。使用离子注入机台离子源的校准装置安装离子注入机台离子源的灯丝和阴极的时候，使用摇杆对三根夹钳进行撑托，可以调节摇杆对灯丝还是阴极进行撑托，使得在安装阴极的同时不会对灯丝造成影响。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 离子 注入 机台 离子源 校准 装置 | ||
【主权项】：
一种离子注入机台离子源的校准装置，包括底座、位于所述底座上并与底座一体成型的基板，其特征在于，所述基板的表面具有相互平行的第一凹槽、第二凹槽、第三凹槽，并在所述第一凹槽的反面安装第一齿轮、所述第二凹槽的反面安装带有摇杆的第二齿轮以及第四齿轮、所述第三凹槽的反面安装第三齿轮；所述第一齿轮、所述第二齿轮、所述第三齿轮安装在滚动带内，并且所述第二齿轮位于所述第一齿轮与所述第三齿轮之间，所述第四齿轮与所述第二齿轮衔接匹配。
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