[实用新型]一种氮化硅烧成炉

摘要

本实用新型公开了一种氮化硅烧成炉，包括炉膛、设在炉膛顶端的封盖和包裹炉膛的炉壁，在炉膛与炉壁之间设有保温层，在炉膛内设有加热棒，所述炉壁包括内层壁和外层壁，在内层壁和外层壁之间设有水冷套，水冷套上接有进水管和出水管。本实用新型在氮化硅粉末烧成结束后实现炉体快速降温，炉膛致密性好，高温条件下不会出现膨胀，节省耗气量，提高生产效率，降低生产成本。

主权项

一种氮化硅烧成炉，包括炉膛(1)、设在炉膛顶端的封盖(2)和包裹炉膛的炉壁(3)，在炉膛与炉壁之间设有保温层(4)，在炉膛内设有加热棒(5)，其特征在于：所述炉壁包括内层壁(31)和外层壁(32)，在内层壁和外层壁之间设有水冷套(6)，水冷套上接有进水管和出水管。