[实用新型]出入料基板移送夹护装置有效
| 申请号： | 201020275583.6 | 申请日： | 2010-07-28 |
| 公开（公告）号： | CN201857124U | 公开（公告）日： | 2011-06-08 |
| 发明（设计）人： | 邓高荣 | 申请（专利权）人： | 广州明毅电子机械有限公司 |
| 主分类号： | B65G47/91 | 分类号： | B65G47/91 |
| 代理公司： | 广州知友专利商标代理有限公司 44104 | 代理人： | 周克佑 |
| 地址： | 510470 广东省广州*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种用于基板电镀的移载器的出入料基板移送夹护装置，包括基板挂架、承托基板挂架的挂架轨道和基板挂架的驱动机构，所述的挂架轨道和驱动机构均安装在移载器的架体上，基板挂架具有夹持基板的夹持部件，基板挂架与驱动机构相连，在驱动机构带动下沿挂架轨道移动。这种夹护装置可避免薄型基板在移送和加工过程中发生漂板现象，从而保证加工品质。 | ||
| 搜索关键词： | 出入 料基板 移送 装置 | ||
【主权项】：
一种用于基板电镀的移载器的出入料基板移送夹护装置，其特征在于：它包括基板挂架、承托基板挂架的挂架轨道和基板挂架的驱动机构，所述的挂架轨道和驱动机构均安装在移载器的架体上，基板挂架具有夹持基板的夹持部件，基板挂架与驱动机构相连，在驱动机构带动下沿挂架轨道移动。
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