[实用新型]旋涂装置

摘要

本实用新型公开一种旋涂装置，用以将一涂料均匀形成在一工件的表面上，该旋涂装置包括一喷涂装置、一旋转装置以及一控制器。该旋转装置包括一固定架及一旋转轴，其中该固定架用于固定该工件。该旋转轴用以支撑该固定架，并对该固定架上的该工件作轴向旋转以产生一离心力，该离心力将该涂料均匀地涂布在该工件表面上，并且借助该离心力甩掉多余的涂料。该控制器用以控制该旋转装置的该旋转轴的转速，并且控制该喷涂装置的喷射量。

主权项

一种旋涂装置，用以将一涂料均匀形成在一工件的表面上，其特征在于：该旋涂装置包括：一喷涂装置、一旋转装置、一控制器、一成膜硬化装置及一回风冷凝系统，其中该喷涂装置设置于能够喷涂至该工件的距离范围之内，用以喷涂该涂料于该工件的整体表面；该旋转装置包括：一固定架及一旋转轴，其中该固定架包含有一真空吸嘴，用于固定该工件；该旋转轴用以支撑该固定架，并对该固定架上的该工件作轴向旋转以产生一离心力，利用该离心力将该涂料均匀地涂布在该工件表面上，并且借助该离心力甩除多余的该涂料；该控制器用以控制该旋转轴的若干个段转速，并且控制该喷涂装置的一喷射量；该成膜硬化装置用于将该涂料硬化；以及该回风冷凝系统用于将多余甩出的涂料回收。