[实用新型]射频检测装置

摘要

本实用新型提供了一种射频检测装置，包括射频感应线圈，该射频感应线圈的输入端与射频发生器连接，该射频感应线圈的输出端连接至反应腔室的喷头，该射频检测装置还包括控制器、信号读取器以及线路闸门系统，该控制器分别与射频发生器、信号读取器连接，该线路闸门系统位于射频感应线圈的一侧并连接至该信号读取器。该射频检测装置，利用磁极极性相互之间作用的原理，通过控制器接收到来自射频发生器以及信号读取器发出的信号，判断射频感应线圈是否短路，灵敏度高，具有较高的检测准确率。并且该射频检测装置简单、制造成本低，适合大规模投入使用。

主权项

一种射频检测装置，包括射频感应线圈，所述射频感应线圈的输入端与射频发生器连接，所述射频感应线圈的输出端连接至反应腔室的喷头，其特征在于，所述射频检测装置还包括控制器、信号读取器以及线路闸门系统，所述控制器分别与所述射频发生器、所述信号读取器连接，所述线路闸门系统位于射频感应线圈的一侧并连接至所述信号读取器。