[实用新型]基板湿制程剥膜废料处理装置

摘要

本实用新型为一种基板湿制程剥膜废料处理装置，其包括一槽体、设于所述槽体的两相对内壁面上的多个支撑组件、倾斜地架设于所述支撑组件上的一过滤架、架设于所述过滤架上的一震动马达、架设在于所述槽体的另外两相对内壁面上的一输送管、以及穿设于所述输送管间的一螺杆；本实用新型的剥膜废料处理装置可在对基板进行湿制程加工的同时，将加工过程中所产生的干膜废料由化学药液中分离而出，以维持化学药液的加工效果，并延长化学药液更换的间隔时间，此外还可将干膜废料集中处理，以免污染环境，并避免后续处理含有干膜废料的化学药液所产生的加工成本。

主权项

一种基板湿制程剥膜废料处理装置，其包括一槽体、多个第一支撑组件、多个第二支撑组件、一过滤架、一震动马达、一输送管及一螺杆，其特征在于：所述第一、第二支撑组件分别设于所述槽体的两相对内壁面上，第一支撑组件顶部的支撑点的高度位置高于所述第二支撑组件顶部的支撑点的高度位置；所述过滤架的两相对侧分别架设于所述槽体两侧的第一、第二支撑组件上，所述过滤架朝向第二支撑组件方向呈向下倾斜状；所述震动马达架设并固定于所述过滤架上；所述输送管为一断面为弧形的半管体，其垂直于所述过滤架而架设在所述槽体的另外两相对内壁面上，位于靠近所述第二支撑组件的一侧以及所述过滤架底部，所述输送管的一输出端进一步突伸至所述槽体外侧；所述螺杆可转动地架设于所述槽体上，且沿轴向穿设于所述输送管中，所述螺杆的外环壁上环绕成型有一螺旋刀。