[实用新型]蒸镀源喷嘴有效
| 申请号： | 201020561254.8 | 申请日： | 2010-10-14 |
| 公开（公告）号： | CN201834962U | 公开（公告）日： | 2011-05-18 |
| 发明（设计）人： | 廖良生;唐劭 | 申请（专利权）人： | 苏州方昇光电装备技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 南京苏科专利代理有限责任公司 32102 | 代理人： | 陆明耀;陈忠辉 |
| 地址： | 215123 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种蒸镀源喷嘴，包括主体，位于主体中的喷射源，位于主体上的长形的喷射板，所述喷射板上设有开口，开口控制主体中喷射源的出射范围，开口包括位于纵长方向两端的两个端部，和位于开口纵长方向中间位置的中心部，以及分别位于中心部和两个端部之间的两个过渡部，所述开口在中心部的宽度和在端部的宽度大于在过渡部的宽度。与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型通过将端部和中心部的开孔宽度设置的大于其他部位开孔宽度，将镀膜均匀宽度(2Do)与线性蒸镀源长度(2L)之比(Do/L)，即均匀宽度比，由现有技术不超过0.5提高到大于0.8。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸镀源 喷嘴 | ||
【主权项】：
一种蒸镀源喷嘴，包括主体，位于主体中的喷射源，位于主体上的长形的喷射板，所述喷射板上设有开口，开口控制主体中喷射源的出射范围，其特征在于，开口包括位于纵长方向两端的两个端部，和位于开口纵长方向中间位置的中心部，以及分别位于中心部和两个端部之间的两个过渡部，所述开口在中心部的宽度和在端部的宽度大于在过渡部的宽度。
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