[实用新型]一种倾斜度测量器有效

专利信息
申请号: 201020564890.6 申请日: 2010-10-16
公开(公告)号: CN201844832U 公开(公告)日: 2011-05-25
发明(设计)人: 王刚 申请(专利权)人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
主分类号: G01C9/00 分类号: G01C9/00;G01B5/24;G01B5/245
代理公司: 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 代理人: 屈蘅;李时云
地址: 201203 上*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 实用新型提供一种倾斜度测量器,包括:底座、测量杠杆、支撑盘和千分表;所述测量杠杆包括支点、测量杆、支杆、传距轴以及移距量杆;所述支点固定于所述支撑盘之上;所述支撑盘固定于所述底座上。使用本实用新型的倾斜度测量器可精确测量特定装置的水平度、垂直度或倾斜度,且使用方便。特别是使用在高温炉中时,可精确测量连接点火器的石英管上的法兰与连接工艺腔体的石英管上的法兰之间是否对准,从而可有效提高安装精确度,改善安全性能,增加石英管寿命,同时也可节省调节安装的时间。
搜索关键词: 一种 倾斜度 测量器
【主权项】:
一种倾斜度测量器,其特征在于,包括:底座、测量杠杆、支撑盘和千分表;所述测量杠杆包括支点、测量杆、支杆、传距轴以及移距量杆;所述支杆固定于所述支点上,两端可在所述支点的支撑作用下上下移动,所述支杆的一端连接所述测量杆,另一端连接所述传距轴的一端,所述传距轴的另一端为上窄下宽的锥形体;所述移距量杆包括内部形成腔室的套筒和杆体,所述杆体穿过所述套筒的腔室且其两端伸出所述套筒的两端之外,所述杆体的一端安装有滚珠,另一端连接千分表,所述套筒内设置有弹簧,支撑所述杆体上安装有滚珠的一端向所述套筒外部移动,紧挨于所述传距轴的锥形体上;所述测量杆包括内部形成腔室的套筒和杆体,所述杆体穿过所述套筒的腔室且其两端伸出所述套筒的两端之外,所述套筒固定于安装于所述支撑盘之上的支架上,所述杆体的一端安装有滚珠,另一端连接所述支杆,所述测量杆垂直于所述支杆;所述支点固定于所述支撑盘之上;支撑盘的中心设置有第一腔体,所述支撑盘内还设置有第二腔体,所述第二腔体同所述第一腔体相通;所述传距轴置于所述第一腔体内,所述移距量杆置于所述第二腔体内,所述传距轴和所述移距量杆在所述第一腔体和第二腔体内可分别进行垂直运动和水平运动;所述支撑盘固定于所述底座上。
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