[实用新型]一种用于曲面反光镜镀膜的行星旋转机构无效
| 申请号： | 201020577248.1 | 申请日： | 2010-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN201826009U | 公开（公告）日： | 2011-05-11 |
| 发明（设计）人： | 鲁振杰;李野;阴哓俊;王诩;王银河;姚春龙 | 申请（专利权）人： | 沈阳仪表科学研究院;沈阳汇博光学技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50 |
| 代理公司： | 沈阳亚泰专利商标代理有限公司 21107 | 代理人： | 郭元艺 |
| 地址： | 110043 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本实用新型属真空镀膜设备领域，尤其涉及一种用于曲面反光镜镀膜的行星旋转机构，它包括调速电机(1)、主转动轴(2)、与主转动轴(2)固定相接的工作转盘(3)、真空室(4)、行星夹具盘(5)、滑道(6)及连接件(7)；所述滑道(6)横向固定配于真空室(4)内；所述调速电机(1)的输出轴接主转动轴(2)；所述连接件(7)的一端与行星夹具盘(5)轴接；连接件(7)的另一端与工作转盘(3)固定相接；所述行星夹具盘(5)可沿滑道(6)滚动。本实用新型结构简单，不需要任何齿轮传动，不要求精密配合，镀制的膜层均匀性好。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 曲面 反光镜 镀膜 行星 旋转 机构 | ||
【主权项】：
一种用于曲面反光镜镀膜的行星旋转机构，其特征在于，包括调速电机(1)、主转动轴(2)、与主转动轴(2)固定相接的工作转盘(3)、真空室(4)、行星夹具盘(5)、滑道(6)及连接件(7)；所述滑道(6)横向固定配于真空室(4)内；所述调速电机(1)的输出轴接主转动轴(2)；所述连接件(7)的一端与行星夹具盘(5)轴接；连接件(7)的另一端与工作转盘(3)固定相接；所述行星夹具盘(5)可沿滑道(6)滚动。
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