[实用新型]一种MEMS麦克风芯片有效
| 申请号： | 201020676219.0 | 申请日： | 2010-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN201947431U | 公开（公告）日： | 2011-08-24 |
| 发明（设计）人： | 蔡孟锦 | 申请（专利权）人： | 歌尔声学股份有限公司 |
| 主分类号： | H04R3/00 | 分类号： | H04R3/00 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人： | 林锦辉;陈英俊 |
| 地址： | 261031 山东省潍坊*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种MEMS麦克风芯片，包括中部设有空洞的基底、振动膜片以及与所述振动膜片相对应设置的固定极板，其中，所述振动膜片自由设置在一卡槽内，所述振动膜片的外围轮廓大于所述卡槽的较小内孔轮廓、小于所述卡槽的较大内孔轮廓。在本实用新型的麦克风芯片结构中，振动膜片处于完全自由的状态，从而使MEMS麦克风芯片可以取得较高的灵敏度，并且由于振动膜片周边卡在卡槽中的部分在振动过程中均匀受力，所以不需要担心振动膜片因支撑的断裂而失效的问题，从而使MEMS麦克风产品的可靠性也能够得到良好保障。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 麦克风 芯片 | ||
【主权项】：
一种MEMS麦克风芯片，包括中部设有空洞的基底(1)、振动膜片(4)以及与所述振动膜片(4)相对应设置的固定极板(5)，其特征在于，所述振动膜片(4)自由设置在一卡槽(32)内，所述振动膜片(4)的外围轮廓大于所述卡槽(32)的较小内孔轮廓、小于所述卡槽(32)的较大内孔轮廓。
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