[实用新型]自硅晶圆切割废油泥中回收再生油的处理装置

摘要

本实用新型公开一种自硅晶圆切割废油泥中回收再生油的处理装置，包含一废油储槽、至少一初滤单元、一初滤储槽、至少一精滤单元及一再生油槽。将废油储槽内的废油泥泵送入该初滤单元，利用该初滤单元的滤材截留废油泥中粒径较大的固形物，再经过该精滤单元过滤粒径较小固形物，借着初滤单元来筛除废油泥中大部份的颗粒与杂质，降低后级处理时薄膜的堵塞，以延长薄膜的操作周期、降低成本，且能获得符合回收标准的再生油，符合环保要求的自硅晶圆切割废油泥中回收再生油的处理装置。

主权项

一种自硅晶圆切割废油泥中回收再生油的处理装置，其特征在于，包含：一废油储槽、至少一初滤单元、一初滤储槽、至少一精滤单元及一再生油槽；该初滤单元，包含一与该废油储槽连通的废液进料泵及多个板框压滤膜组，前述板框压滤膜组各具有一进料口、一与该进料口导通的滤室、一装设在该滤室内的初滤滤材，以及一与该滤室相通的排放口，该排放口与该初滤储槽连通；该精滤单元，包含一与该初滤储槽导通的精滤槽、一装设在该精滤槽内的精滤膜组，以及一与该精滤膜组连接的驱动机构，该精滤膜组具有多个精滤薄膜及一套穿前述精滤薄膜且形成水密连通的主集液管，该驱动机构具有一与该主集液管连通的抽油泵；以及该再生油槽，与该抽油泵连结。