[实用新型]基板烘烤设备有效
| 申请号： | 201020679277.9 | 申请日： | 2010-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN201936121U | 公开（公告）日： | 2011-08-17 |
| 发明（设计）人： | 刘杰;焦宇;吴超;宋篷磊;剧永波 | 申请（专利权）人： | 北京京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/38 | 分类号： | G03F7/38;G03F7/40;G02F1/1333 |
| 代理公司： | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人： | 申健 |
| 地址： | 100176 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种基板烘烤设备，属于烘烤技术领域，其可解决现有的基板烘烤设备易于造成基板损伤的问题。本实用新型的基板烘烤设备包括：用于沿与基板平行的方向输送基板的输送机构；至少一个用于加热位于所述输送机构上的所述基板的加热机构。本实用新型可用于在液晶显示面板的光刻工艺中烘烤玻璃基板。 | ||
| 搜索关键词： | 烘烤 设备 | ||
【主权项】：
一种基板烘烤设备，其特征在于，包括：用于沿与基板平行的方向输送基板的输送机构；至少一个用于加热位于所述输送机构上的基板的加热机构。
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