[发明专利]用于制造LCD的光致抗蚀剂剥离组合物有效
| 申请号： | 201080001518.7 | 申请日： | 2010-08-19 |
| 公开（公告）号： | CN102216855A | 公开（公告）日： | 2011-10-12 |
| 发明（设计）人： | 崔好星 | 申请（专利权）人： | LTC有限公司;崔好星 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 丁香兰;庞东成 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于所有的LCD的制造工艺的光致抗蚀剂剥离组合物，更具体而言，本发明涉及作为弱碱性复合物的水性结合的光致抗蚀剂剥离组合物，所述组合物包含叔烷醇胺、水和有机溶剂。本发明的组合物防止Al和Cu金属线在LCD的制造过程中的腐蚀，具有良好的除去光致抗蚀剂的能力，并应用于所有的Al工艺、Cu工艺、有机膜工艺和COA工艺。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 制造 lcd 光致抗蚀剂 剥离 组合 | ||
【主权项】：
1.一种用于制造LCD的光致抗蚀剂剥离组合物，所述组合物包含：(a)1重量％～20重量％的式(1)的叔烷醇胺化合物；(b)1重量％～60重量％的水；和(c)20重量％～98重量％的有机溶剂，所述有机溶剂形成4～6元环的饱和或不饱和的烃链，该烃链具有一个以上的氧原子并由羟基(C1-C5)烷基取代基取代：![]()
其中，R是直链或支链的C1-C6亚烷基，且X是OH或H。
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