[发明专利]减振器件有效
| 申请号： | 201080004937.6 | 申请日： | 2010-01-15 |
| 公开（公告）号： | CN102292659A | 公开（公告）日： | 2011-12-21 |
| 发明（设计）人： | A.沃格勒;K.里夫;A.弗罗姆迈耶;A.L.布赖登 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司SMT有限责任公司 |
| 主分类号： | G02B7/02 | 分类号： | G02B7/02;F16F15/023;G03F7/20;G02B27/64;F16F7/10;F16F15/02 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 吴艳 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及用于投射曝光机的光学元件(1)的减振器件，其包括配置成彼此间隔开的至少两个质量体减振器(3)，所述振动吸收器(3)各自具有至少一个减振器质量体(30)和至少一个减振元件(32)，并且所述至少两个质量体减振器(3)的减振器质量体(30)借助于至少一个连接元件相互连接。本发明还涉及投射曝光机的光学元件(1)和投射曝光机。 | ||
| 搜索关键词： | 减振器 | ||
【主权项】：
减振器件，用于投射曝光机的光学元件(1)，包括布置成彼此间隔开的至少两个质量体减振器(3)，所述质量体减振器(3)各自具有至少一个减振器质量体(30)和至少一个减振元件(32)，其特征在于，所述至少两个质量体减振器(3)的减振器质量体(30)借助于至少一个连接元件(4)相互连接。
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