[发明专利]柔性基板位置控制设备

摘要

一种处理设备中的柔性基板位置控制设备(100)，该柔性基板位置控制设备以垂直方位在水平方向传输带状柔性基板(1)，并由安装在基板的传输路径中的处理单元进行基板的处理，它设置有：一对夹持辊(131，132)，夹持基板的上边缘；支撑机构(140)，可旋转地支撑一对夹持辊，同时允许这些辊彼此互相接触和分离；施力装置(150)，用于经由支撑机构向一对夹持辊施加压力；以及调节装置(160)，用于调节由施力装置施加的压力。一对夹持辊具有倾斜度，其中相对于基板的夹持面的加压方向为朝向基板宽度方向的边缘，且一对夹持辊由支撑机构支撑，以使夹持面处的旋转方向与基板的传输方向为相同方向。柔性基板位置控制设备能够抑制带状柔性基板的下垂和皱纹的出现，并且在实现高质量的处理同时，能够处理柔性基板在相反方向上的传输。

主权项

一种处理设备中的柔性基板位置控制设备，该柔性基板位置控制设备以垂直方位在水平方向传输带状柔性基板，并由安装在基板的传输路径中的处理单元进行基板的处理，所述控制设备包括：一对夹持辊，夹持基板的上边缘；支撑机构，可旋转地支撑所述一对夹持辊，同时允许这些辊彼此互相接触和分离；施力装置，用于经由支撑机构向所述一对夹持辊施加压力；以及调节装置，用于调节由施力装置施加的压力，其中，所述一对夹持辊具有倾斜度，其中相对于基板的夹持面的加压方向为朝向基板宽度方向的边缘，且所述一对夹持辊由支撑机构支撑，以使夹持面处的旋转方向与基板的传输方向为相同方向。