[发明专利]基板表面的封闭装置和有机EL面板的制造方法

摘要

本发明所要解决的技术问题是，能够实现节省作业的工时，谋求生产节拍时间的提高，防止了制品性能的劣化的层叠加工。本发明中，来自薄膜卷放机构部(14)的薄膜滚筒(24a～24d)(图6)的薄膜(13)在覆膜卷绕机构部(15)被剥取其覆膜(13a)(图4)，并被送向基板间处理机构部(16)。在基板间处理机构部(16)，由半切割部件(34)和剥离带(36)(图7)，如图9所示，以规定的间隔按照每个规定的长度剥取薄膜(13)的封闭材料薄膜(5’)(图4)，形成片状封闭材料(5)。被这样处理的薄膜(13)被送向层叠机构部(19)，片状封闭材料(5)被加热压接在来自前室10的基板(1)，在基板冷却机构部(30)被冷却，在基膜卷绕机构部(21)剥取薄膜(13)的基膜(13b)(图4)。

主权项

一种基板表面的封闭装置，其特征在于，具备内置了将片状封闭材料向基板上粘贴的薄膜粘合装置的腔、用于将该基板运入该腔的比该腔容积小的前室、将在该薄膜粘合装置粘贴了该片状封闭材料的该基板从该腔内排出的比该腔容积小的后室，在该前室的基板运入口侧和腔侧以及该后室的腔侧和基板排出口侧分别设置门阀，且该腔内也包括基板被运入·排出时在内，总是被保持为高真空状态，该薄膜粘合装置由以规定的间隔运送从该前室运入的该基板的基板运送构件、将多条夹着片状封闭材料并设置了覆膜和基膜的规定宽度的薄膜卷放的薄膜卷放机构部、将该覆膜从由该薄膜卷放机构部卷放的该多条薄膜分别剥落，进行卷绕的覆膜卷绕机构部、从在该覆膜卷绕机构部被剥取了该覆膜的该多条薄膜分别剥取成为由该基板运送构件运送的该基板的间隔的该密封状封闭材料的部分，并在该多条薄膜的各自的该基膜上形成与该基板分别对应的多个该密封状封闭材料的基板间处理机构部、按照由该基板运送构件从该前室运入的每个该基板，进行该基板的前端部和来自该基板间处理机构部的该薄膜的与该基板对应的该密封状封闭材料的前端的定位的校直机构部、将来自该校直机构部的该多条薄膜的与该基板对应的多个该密封状封闭材料向由该基板运送构件运送的该基板粘贴的粘贴机构部、从在来自该粘贴机构部的该基板上粘贴了该片状封闭材料的该多条薄膜分别剥取该基膜，并进行卷绕的基膜卷绕机构部构成；该基板运送构件将粘贴有在该基膜卷绕机构部被剥取了该多条薄膜的该基膜的多个片状封闭材料的状态下的该基板向该后室排出。