[发明专利]感光性树脂组合物、以及使用了该组合物的感光性元件、抗蚀剂图案的形成方法和印刷线路板的制造方法

摘要

本发明涉及一种感光性树脂组合物，含有(A)粘合剂聚合物、(B)光聚合性化合物、(C)光聚合引发剂和(D)敏化色素，其中，所述(A)粘合剂聚合物具有基于(甲基)丙烯酸的结构单元、基于(甲基)丙烯酸苄酯或(甲基)丙烯酸苄酯衍生物的结构单元，所述(B)光聚合性化合物包含具有1个烯属不饱和键的化合物，(D)敏化色素包含下述通式(1)所示的化合物。式(1)中，R¹和R²各自独立地表示取代或未取代的苯基、噻吩基或呋喃基，R³表示碳原子数1～10的烷基、碳原子数1～10的烷氧基或碳原子数1～10的烷基酯基，a和b各自独立地表示0～2的整数，m表示0～5的整数。

主权项

1.一种感光性树脂组合物，是含有(A)粘合剂聚合物、(B)光聚合性化合物、(C)光聚合引发剂和(D)敏化色素的感光性树脂组合物，所述(A)粘合剂聚合物具有基于(甲基)丙烯酸的结构单元、以及基于(甲基)丙烯酸苄酯或(甲基)丙烯酸苄酯衍生物的结构单元，所述(B)光聚合性化合物包含具有1个烯属不饱和键的化合物，所述(D)敏化色素包含下述通式(1)所示的化合物，式(1)中，R¹和R²各自独立地表示取代或未取代的苯基、噻吩基或呋喃基，R³表示碳原子数1～10的烷基、碳原子数1～10的烷氧基或碳原子数1～10的烷基酯基，a和b各自独立地表示0～2的整数，m表示0～5的整数，在m为2～5的情况下，存在的多个R³彼此既可以相同也可以不同。