[发明专利]阻气性层压膜的制造方法无效

专利信息
申请号: 201080008813.5 申请日: 2010-02-15
公开(公告)号: CN102317496A 公开(公告)日: 2012-01-11
发明(设计)人: 吉田重信;大川原千春;尾关幸太 申请(专利权)人: 三菱树脂株式会社
主分类号: C23C14/08 分类号: C23C14/08;B32B9/00;C23C14/56;C23C16/40;C23C16/54
代理公司: 上海市华诚律师事务所 31210 代理人: 徐申民;刘香兰
地址: 日本国*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明提供一种制造生产率良好、制造后就显示高阻气性、且维持优良的阻气性,同时,构成层之间具有优良的密合强度的层压膜的方法、以及通过该制造方法得到的阻气性层压膜。一种阻气性层压膜的制造方法,该制造方法具有:(1)通过真空蒸镀法在基材膜的至少一个表面上形成无机薄膜的工序;(2)通过等离子体化学气相沉积法在工序(1)所形成的无机薄膜上形成薄膜的工序;以及(3)通过真空蒸镀法在工序(2)所形成的薄膜上形成无机薄膜的工序,所述工序(1)以及(3)各自在1×10-7~1Pa的压力下连续进行,工序(2)在1×10-3~1×102Pa的压力下连续进行。
搜索关键词: 气性 层压 制造 方法
【主权项】:
一种阻气性层压膜的制造方法,具有:(1)通过真空蒸镀法在基材膜的至少一个表面上形成无机薄膜的工序;(2)通过等离子体化学气相沉积法在工序(1)所形成的无机薄膜上形成薄膜的工序;以及(3)通过真空蒸镀法在工序(2)所形成的薄膜上形成无机薄膜的工序,所述工序(1)以及(3)各自在1×10 7~1Pa的压力下连续进行,工序(2)在1×10 3~1×102Pa的压力下连续进行。
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