[发明专利]基板用涂敷装置有效
| 申请号： | 201080012714.4 | 申请日： | 2010-03-12 |
| 公开（公告）号： | CN102387868A | 公开（公告）日： | 2012-03-21 |
| 发明（设计）人： | 五十川良则;织田光德;山本稔;川口敬史;田边雅明;平田英生 | 申请（专利权）人： | 龙云株式会社 |
| 主分类号： | B05C5/02 | 分类号： | B05C5/02;B05C11/10;H01L21/027 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 苏卉;车文 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明能够即时且高精度地调整基板的表面上的涂敷液的涂敷量，并能够减少涂敷开始时和涂敷结束时产生的膜厚不均匀区域。基板用涂敷装置(100)具有狭缝喷嘴(1)、第一相机(3)、第二相机(4)、控制部(5)、泵(8)以及调压室(9)。控制部(5)根据第一相机(3)拍摄的涂道形状与基准形状的比较结果，控制从泵(8)向狭缝喷嘴(1)供给的涂敷液的供给量。此外，控制部(5)根据由第二相机(4)拍摄的图像测定到的距离与基准距离的比较结果，控制调压室(9)产生的狭缝喷嘴(1)的上游侧的气压。 | ||
| 搜索关键词： | 基板用涂敷 装置 | ||
【主权项】：
一种基板用涂敷装置，包括：喷嘴，喷出应涂敷于板状基板的表面的涂敷液，且在该喷嘴与基板的表面之间设置有规定间隙的位置上沿规定的扫描方向相对于基板的表面相对移动；形状测定单元，以光学方式测定从所述喷嘴向基板喷出的涂敷液的涂道形状；形状变形单元，使从所述喷嘴喷出的涂敷液的涂道形状变形；以及控制单元，根据所述形状测定单元测定的涂道形状而生成对所述形状变形单元的动作进行控制的控制数据。
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