[发明专利]用于镍-磷存储磁盘的抛光组合物有效
| 申请号： | 201080012745.X | 申请日： | 2010-01-28 |
| 公开（公告）号： | CN102361950A | 公开（公告）日： | 2012-02-22 |
| 发明（设计）人： | S.帕拉尼萨米奇纳萨姆比;H.斯里瓦达恩 | 申请（专利权）人： | 嘉柏微电子材料股份公司 |
| 主分类号： | C09K3/14 | 分类号： | C09K3/14 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 宋莉 |
| 地址： | 美国伊*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明提供化学-机械抛光组合物，其包含α-氧化铝、热解氧化铝、二氧化硅、将镍磷氧化的氧化剂、草酸、任选的酒石酸、任选的非离子型表面活性剂、任选的杀生物剂、和水。本发明还提供对基材进行化学-机械抛光的方法，该方法包括使基材与抛光垫和该化学-机械抛光组合物接触，使该抛光垫和该抛光组合物相对于该基材移动，和磨除该基材的至少一部分以抛光该基材。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 存储 磁盘 抛光 组合 | ||
【主权项】：
化学 机械抛光组合物，其包含：(a)α 氧化铝，(b)热解氧化铝，(c)二氧化硅，(d)氧化镍 磷的氧化剂，(e)0.1重量％至5重量％的草酸，(f)任选的0.1重量％至2重量％的酒石酸，(g)任选的非离子型表面活性剂，(h)任选的杀生物剂，和(i)水，其中所述抛光组合物具有2至4的pH。
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