[发明专利]玻璃基板及其制造方法有效
申请号: | 201080019834.7 | 申请日: | 2010-05-07 |
公开(公告)号: | CN102414140A | 公开(公告)日: | 2012-04-11 |
发明(设计)人: | 三和晋吉;柳濑智基 | 申请(专利权)人: | 日本电气硝子株式会社 |
主分类号: | C03C15/00 | 分类号: | C03C15/00;C03C3/085;C03C3/087;C03C3/091;G02F1/1333;H01L51/50;H05B33/02 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 蒋亭 |
地址: | 日本国*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明的玻璃基板是具有第一表面和第二表面的玻璃基板,其特征在于,第一表面的平均表面粗糙度Ra为0.2nm以下,至少第二表面采用大气压等离子体法进行了化学处理,并且平均表面粗糙度Ra为0.3~1.5nm。 | ||
搜索关键词: | 玻璃 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种玻璃基板,是具有第一表面和第二表面的玻璃基板,其特征在于,第一表面的平均表面粗糙度Ra为0.2nm以下,至少第二表面用大气压等离子体法进行了化学处理,并且平均表面粗糙度Ra为0.3~1.5nm。
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