[发明专利]扫描方法有效
| 申请号： | 201080022141.3 | 申请日： | 2010-05-04 |
| 公开（公告）号： | CN102439684A | 公开（公告）日： | 2012-05-02 |
| 发明（设计）人： | B.W.沃德 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司NTS有限责任公司 |
| 主分类号： | H01J37/26 | 分类号： | H01J37/26;H01J37/28 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 邱军 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 总体而言，在一个方面，本公开涉及用于样品成像的方法和系统，例如使用带电粒子的样品成像。 | ||
| 搜索关键词： | 扫描 方法 | ||
【主权项】：
一种方法，包括：将样品的第一部分暴露于带电粒子束，以产生该样品的该第一部分的第一图像；在控制系统接收关于方向的输入；确定在基于该关于方向的输入的方向上与该样品的该第一部分相邻的该样品的第二部分是否已经先前被暴露以产生该第二部分的图像；如果该第二部分已经在先前被暴露，则从存储器取回该第二部分的图像；以及如果该第二部分没有在先前被暴露，则将在基于该关于方向的输入的方向上与该样品的该第一部分相邻的该样品的第二部分暴露于带电粒子束以产生第二图像；将该第一图像的至少一部分与该第二图像或者该第二部分的取回图像结合以产生第三图像；以及在用户界面上显示该第三图像。
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