[发明专利]成像光学部件以及具有此类型的成像光学部件的用于微光刻的投射曝光设备

摘要

一种成像光学部件(36)具有将物平面(5)中的物场(4)成像到像平面(9)中的像场(8)中的多个反射镜(M1至M6)。第一个反射镜(M1)在成像光的成像光束路径中布置在物场(4)之后，最后一个反射镜(M6)在成像光束路径中布置在像场(8)之前。在展开的成像光束路径中，属于中心物场点的主光线(16)照射在每个用于引导所述成像光(3)的反射镜(M1至M6)的使用区域(23)上的照射点与像平面(9)具有镜间距(ZM)。所述第一个反射镜(M1)的镜间距(ZM1)大于所述最后一个反射镜(M6)的镜间距(ZM6)。倒数第四个反射镜(M3)的镜间距(ZM3)大于所述第一个反射镜(M1)的镜间距(ZM1)。在本发明的另一方面，所述反射镜(M1至M6)中的至少一个的反射表面被配置为不能通过旋转对称函数描述的静态自由形状表面。所述自由形状表面与与其最佳适配的、能够通过旋转对称函数描述的非球面的不同点在于：用于引导所述成像光(3)的自由形状表面的使用区域(23)的每个自由形状表面元素(20)的法线(FN)，相对于所述非球面(21)的对应非球面元素(22)的法线(FNB)，采用最大值为70μrad的角度(α)。通过这两个方面，产生了小成像误差、可管理的制造、以及成像光的良好通过量的可操纵组合。

主权项

一种成像光学部件(36；39；40)，具有多个反射镜(M1至M6)，所述多个反射镜将物平面(5)中的物场(4)成像到像平面(9)中的像场(8)中，‑在成像光(3)的成像光束路径中、所述物场(4)之后具有第一个反射镜(M1)，‑在成像光(3)的成像光束路径中、所述像场(8)之前具有最后一个反射镜(M6)，‑其中，在展开的成像光束路径中，属于中心物场点的主光线(16)照射在每个用于引导所述成像光(3)的所述反射镜(M1至M6)的使用区域(23)上的照射点与所述像平面(9)具有镜间距(ZM)，其特征在于：‑所述第一个反射镜(M1)的镜间距(ZM1)大于所述最后一个反射镜(M6)的镜间距(ZM6)，‑倒数第四个反射镜(M3)的镜间距(ZM3)大于所述第一个反射镜(M1)的镜间距(ZM1)。